X線小角散乱法を用いた半導体デバイス構造の 3 次元形状計測 2024-10-01

後藤 拓実

55巻2号通巻122号 (2024年10月) - 後藤 拓実

X 線トポグラフィーによるSiC 単結晶基板中の結晶欠陥の非破壊観測　―研究開発から生産工程まで― 2021-10-01

Christian Reimann,Christian Kranert,稲葉 克彦 (翻訳),島本 憲太 (翻訳)

52巻2号通巻116号（2021年10月） - Christian Reimann,Christian Kranert,稲葉 克彦 (翻訳),島本 憲太 (翻訳)

軽量化材料として期待されるマグネシウム合金のX 線分析 2021-10-01

根津 暁充,松田 渉,佐藤 純一

52巻2号通巻116号（2021年10月） - 根津 暁充,松田 渉,佐藤 純一

ハイスループット＆高分解能Ｘ線トポグラフイメージングシステム XRTmicron 2013-10-01

44巻2号通巻100号（2013年10月）

微小部Ｘ線応力測定装置 AutoMATE II 2013-04-01

44巻1号通巻99号（2013年4月）

SiCパワーデバイスにおけるＸ線・熱分析　（パワーデバイス特集①） 2012-10-01

河野 浩,表 和彦,平山 泰生

43巻2号通巻98号（2012年10月） - 河野 浩,表 和彦,平山 泰生

SiCウェーハの結晶欠陥と新型X線トポグラフ装置　（パワーデバイス特集③） 2012-10-01

表 和彦

43巻2号通巻98号（2012年10月） - 表 和彦

全反射蛍光X線分析によるパワー半導体デバイスのウェーハ汚染評価　（パワーデバイス特集②) 2012-10-01

河野 浩

43巻2号通巻98号（2012年10月） - 河野 浩